由于制氧机中的沸石分子筛对压缩空气质量要求高，压缩空气中的气体温度高，含有大量的水和一定量的灰尘和油雾，进入制氧机前必须对压缩空气进行除水、除油和除尘。这部分设备主要是为了这个目的。净化压缩空气非常重要！因为压缩空气的净化直接关系到沸石分子筛的使用寿命和制氧机的长期有效使用。一旦沸石分子筛油“中毒”制氧机效率下降，指标达不到正常。
干燥机主要用于去除压缩空气中的水。吸附无热再生干燥机采用可再生干燥剂作为吸附剂，利用压力变化、气体膨胀等原理去除压缩空气中的水。如果氧露点不太低（≤-40℃常压)，不需要吸附干燥器；如果需要较低的氧气露点；（≤-40℃常压），然后需要配备吸附干燥器。吸附干燥机有两种类型：热再生和微热再生，两者都有一定的气体损失。一般采用无热再生干燥装置。
不同类型、不同过滤精度的过滤器主要用于压缩空气除油。过滤器是由许多微孔纤维材料制成的滤芯或活性炭，以去除介质中的污染物（水、油、颗粒和气味）。所有过滤器都具有除水、除油和除尘功能，但不同类型的过滤器具有不同的主要功能。主路过滤器主要用于除尘和去除液体水；粗滤器主要用于一级脱脂；精密过滤器主要用于进一步脱脂，使介质含油量很小；活性炭脱脂过滤器主要用于深度脱脂和吸附碳氢化合物，以去除气味。过滤器的配置主要取决于空气压缩机排放的压缩空气质量。配置过少，压缩空气不能完全净化，不能满足氧气机对压缩空气的质量要求，不允许；配置过多，压缩空气处理效果好，但管道内气体压力损失较大，成本过高，不必要。一般来说，对于无油空气压缩机，需要配置一至两级过滤器，主要是除尘器，对于含油空气压缩机，需要配置三至四级过滤器。