微波真空干燥，是指将被干燥物料处于真空条件下，采用微波对产品干燥的技术。微波真空干燥机可用于在高温下易分解、聚合和变质的热敏性物料的低温干燥，广泛地适用于制药、化工、食品电子等行业，具有干燥物品速度快，不会对被干燥物品的内在质量造成破坏等特点。与常规干燥机相比，微波真空干燥大大降低了需要去除的液体的沸点，可轻松应用于热敏性物质。
罗汉果微波真空干燥机微波真空干燥箱优势凸显，故在市场上需求旺盛，市场规模不断扩大。微波真空干燥箱其微波源技术能够确保系统24小时连续工作。其中，磁控管为进口原装水冷管，使用寿命更长，可以配备定制的高压变压器，性能稳定。 此外，微波真空干燥箱可以根据产品脱水工艺曲线合理布置微波馈口，在实现有效脱水的同时，尽量降低物料的温度，从而提高能量利用率。同时，可以根据空气饱和度曲线和脱水工艺曲线设定物料及温度、微波功率等更佳参数组合，提高微波能利用率，确保脱水效率。
多层微波真空干燥机据使用客户反映，市场上大多数厂家微波干燥机顶部为平顶(吊篮结构除外)，烘干过程顶部蒸汽凝结，滴落到上层托盘的物料中，容易导致干燥不均匀的现象发生。其次，有很多客户反映微波真空干燥机底部集水严重，烘干过程需要中间停止工作，排除一次集水才可继续烘干。所以，微波真空干燥机需从用户实际操作过程出发升级工艺。例如，针对干燥不均情况，齐协微波设备公司采取大面积馈能方式，确保微波场均与合理分布，提高微波能利用效率，并避免局部热点和溅料现象的发生，还可以大幅减少对磁控管的损害，此外设备增加一套冷凝系统，以便使水蒸气快递变成水排出，缩短了干燥时间，提高了生产效率。
微波真空干燥机目前在中药浸膏、水果脆片、罗汉果、花卉等干燥中得到大面积推广使用。