1、真空度达不到指标
检查放气阀是否关紧。也可在抽气过程中反复开、关该阀，让外界空气吹冲阀孔，以吹除阀内可能有的杂质，从而保证阀的密封。
真空泵与主机之间由真空管连接，检查两个连接处的卡箍是否拧紧。
检查有机玻璃罩底面是否光洁平整。“O”型橡胶密封圈是否破损。在真空泵开始工作时，用力下压有机玻璃罩片刻，有利于密封。
检查真空泵油质量，从视油镜观察泵油是否变浊或混入杂质，一般情况下，连续工作小时左右，需要更换真空泵油。
2、真空泵漏油
检查漏油部位（主要可能是视油镜和密封垫），更换相应新配件。
3、冷阱温度偏高，一般由于散热不良，或环境温度偏高所致。
4、真空显示“---”：检查真空计连线